半導電薄膜只有半絕緣多晶硅薄膜。半導體薄膜主要有外延生長的Si單晶薄膜和CVD生長的摻雜多晶硅薄膜、半絕緣多晶硅薄膜。絕緣體薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。金屬薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜。工藝中用到的薄膜技術光刻膠薄膜。